使用具有维护管理功能的即插即用型Spares和 ERP 模块可降低集成成本,减少复杂性,提高设备综合效率 (OEE)

合适的时间,合适的设备,合适的部件

作者: John Robinson
Using Plug Play Spares And ERP Modules

如今,一家传统的 300mm 半导体前道晶圆厂可能需要数千种工艺和计量设备,才能将晶圆裸片加工成令人印象深刻且灵活的器件组件。 每种设备都非常复杂,且功能固定,因此必须仔细协调所有设备以确保设备综合效率 (OEE)。

数以百万计的部件

维护和备件的复杂程度,可以光刻工艺为参照。 在光掩模设置步骤中,用于 Litho 曝光胶片的掩模必须在类似扫描仪下仔细检查是否存在缺陷。 Zeiss AIMS 检测设备就是一个例子。 这套具有特定功能的设备中包含来自 134 个不同供应商的 4,500 多个子系统和 64,000 件单独部件。 这是令人难以置信的部件阵列和巨大的管理挑战——不仅涉及供应链,还涉及关联部件和部件编号 (P/N) 所涉及的维护和工作。

在合适的时间使用合适的部件

为管理此复杂流程,晶圆厂必须保证部件供应。 对于所有成千上万的设备和数以百万计的备件,许多最必要的或需更换的部件都由工厂内部提供,可能存放在晶圆厂内,也可能存放在位于工厂附近的某个仓库,以便随时可用。 其他较长交货时间的部件,则根据需要从原始设备制造商 (OEM) 和第三方供应商处发货和订购。

所有这些部件的复杂性都会影响单个设备的设备综合效率 (OEE),因为部件和 P/N 必须与设备维护工作相关联。 当为晶圆厂中的设备计划或触发维护工单时,所需的备件必须可用并与该工单相关联。 考虑到可能无法在合适的时间对合适的零件进行维护,需要有效地管理 P/N 与维护工单的关联,以降低复杂性并确保合适的部件安装在合适的设备上。

部件信息交换

图 1 所述为此部件关联过程,显示了分段和维护阶段的部件流程,分为物理系统和逻辑系统。 通过底部显示的物理系统,将零件从实际供应商转移至仓库,然后转至设备。 为了促进备件到维护工单的自动化管理,我们还展示了必要的逻辑流程,其中通常由 ERP 系统维护的大量备件库存必须与维护管理系统交换 P/N 信息。 两个系统之间重叠和数据交换需要仔细协调和系统集成,以确保使用合适的设备维护合适的备件。

The Flow Of Parts Through Various Lifecycle Phases
图 1:部件在各个生命周期阶段流动,分为逻辑和物理系统 (从供应商和设备到 ERP 和维护管理应用程序)

应用材料公司拥有众所周知的基于 Xsite™ 技术的维护管理能力,该技术可有效用于自动化维护计划,以及根据 SEMI E10 状态追踪设备维护性能。 这种跟踪能力可根据 MTBF 和 MTTR 指标对设备综合效率(OEE)进行测量,这些指标可在使用 Xsite 技术进行维护期间自动捕获。

客户的心声

为了增强此类维护管理功能,我们与客户密切合作,确认从备件集成到维护中出现的关键挑战。

  1. 自动化和管理与维护工单关联的备件
  2. 通过允许 P/N 在这两个系统之间移动,降低系统复杂性
  3. 可与 ERP 系统实现开箱即用的集成

考虑到这三个客户优先事项,我们发布了两个可选模块 Spares 和 ERP,这两个模块现在都可用于维护管理。 图 2 突出显示了 Xsite 技术框架中的这两个模块。

The New Spares And ERP Modules
图 2:图中以橙色显示的新 Spares 和 ERP 模块可与其他模块选项共用, 通过 Xsite 技术内核实现这些模块的即插即用

这些模块有何作用?

Spares 模块基于大家熟知的 INV 模块,并有以下作用:

  1. 将工单与 P/N(序列化部件和耗材部件)相关联
  2. 在 PM 期间消耗备件

ERP 模块:

  1. 标准化数据字典和服务器端规则 (SSR),以实现与 ERP 的快速开箱即用集成
  2. 允许 P/N 追踪历史记录和查询
  3. 确保 P/N 消耗并返回 ERP

这为半导体晶圆厂带来哪些好处?

这些模块对制造商的基本好处包括:

  1. 数据可追溯性(P/N 关联和使用计数)
  2. 通过 P/N 与工单关联,在合适的时间提供合适的部件,提高平均修复时间(MTTR),从而减少维护停机时间。
  3. 通过提供标准接触点和简单的 SSR 配置降低ERP 集成成本
  4. 降低复杂性:P/N 在系统之间移动,不需要在两个位置都存在
  5. 提高设备综合效率 (OEE):可以识别备件异常值,原因是可以查询 P/N 并将其与越界 MTBF 指标相关联
分享文章

相关文章

通过更好的数据可视化,提高运营效率

Data Visualization
利用 SmartFactory Material Control 和 APF Reporter,为数据驱动型决策制作简单、一致且具有视觉吸引力的图表。

应用材料公司更快实现自动化的途径 - 在 90 天内完成 MES 部署(第 1 部分,共 2 部分)

Applied Pathway For Faster Automation MES Deployment In 90 Days
在 90 天内部署 SmartFactory 300works®:依靠经验丰富的团队和经广泛验证的流程。

利用经行业验证的交钥匙 CIM 解决方案实现关键的工厂 KPI

CIM Blog
使用我们的 SmartFactory CIM 解决方案在您的整个工厂生产领域中集成自动化功能。