派工规则参数的渐进优化

在半导体制造过程中，对批次进行排程会对整个晶圆厂的效率产生显著影响。 这种排程过程称作 “作业重入的流水车间 ”，因其难以建模和有效解决而被人们所熟知。 问题的根源来自于对参数值的调整，以及找到基于每个晶圆厂情况的优化组合。 派工规则逻辑包含众多参数，其性能在很大程度上依赖于根据在制品和站点可用性对参数值进行微调的能力。

为了解决这一难题，我们基于渐进优化法并结合模拟退火法开发了一种高效的参数调整方法。 结果表明，这一方法胜过了其他基准，可成功地对派工规则的参数值进行动态优化。