SmartFactory 工艺质量解决方案

实施零缺陷战略，确保卓越的工艺质量和一致性。

Run-to-Run Control

通过提升设备以及工艺的性能改善良率

SPC™

结合数据信息的提取与分析，提供智能决策

Fault Detection

最大限度降低良率损失，减少计划外设备停机

Recipe Management System

通过自动化配方管理保持一致性

Equipment Automation

提高生产效率，减少人为错误，实现超越手动基础的全自动化可能性

SmartFactory Asset Trace

通过整个生命周期的资产追踪提高资产利用率

Maintenance Management

提高设备维护能力——应对计划内和计划外事件