SmartFactory Run-to-Run Control
优化设备配方参数
您是如何解决工厂的过程能力问题?
SmartFactory Run-to-Run Control是一个先进过程控制(APC)解决方案,可以提高过程能力(Cpk)和优化设备配方参数。 这个开箱即用的解决方案提供了专利的模型预测,经过验证部署成功,包括一个多变量、约束、基于优化的过程控制器。

为什么选择SmartFactory Run-to-Run Control?
Cpk平均提高30%
晶片废料减少10-30%
成熟良率提升2-4%
您能从我们的解决方案中获得什么?
提升良率
- 减少生产变异现象
- 能够在开发和生产阶段做出更好的决策
- 在大批次生产过程中减少良率的变化
提高品质
- 通过自动化优化设备配方参数来改进Cpk
- 通过对设备和过程加工产生的漂移现象进行补偿,减少OOS异常样品和材料损失
- 通过减少测试用的晶片来提高产出
降低拥有成本
- 通过统一的建模架构减少模型管理工作
- 提供通用平台,SPC系统、FDC系统与Run-to-Run系统进行了无缝的整合,促进信息共享