製造現場でのプロセス能力の課題をどのように解決していますか？
SmartFactory Run-to-Run Controlは、プロセス能力（Cpk）を向上させ、ツールレシピパラメータを最適化する高度なプロセス制御（APC）ソリューションです。この即時導入可能なソリューションは、特許取得済みのモデル予測機能を備えており、多変量・制約付きの最適化ベースのプロセスコントローラを搭載し、実績ある導入事例に裏打ちされた信頼性を誇ります。
SmartFactory Run-to-Run Controlを選ぶ理由
平均30%のCpk向上
スクラップ発生率を10〜30%削減
成熟工程での歩留まりを2〜4%向上
私たちの取り組みから得られる効果
歩留まりの向上
- プロセス変動を低減
- 開発・立ち上げフェーズでの意思決定を支援
- 量産時の歩留まり低下要因を抑制
品質の向上
- ツールレシピパラメータを自動最適化し、Cpkを改善
- 装置やプロセスのドリフトを補正し、規格外（OOS）やスクラップを削減
- パイロットウェーハの削減によりスループットを向上
所有コストの削減
- 統一されたモデリング構造によりモデル管理作業を軽減
- SPCやFDCとの統合が可能な共通プラットフォームで情報共有を促進