SmartFactory MESソリューション

オペレーションを統合・最適化
し、より高い制御性と生産効率
を実現

SmartFactory Alarm Management

アラートノイズを削減し、運用効率を向上

SmartFactory Asset Trace

生産設備や治具工具のライフサイクル全体を通じてトレースし、活用率を向上

MES 300works® Full-Auto

工場のモノの流れを自動化し、大量生産を効率化

MES FACTORYworks+™

FACTORYworksプラットフォームに、半導体組立や周辺業界向けの機能を追加

MES FACTORYworks®

量産時における改善を加速するための拡張機能
を搭載

Material Control

WIP（仕掛品）の移動を自動化し、スループットを向上、装置のアイドル時間を削減

MES PROMIS®

ファブ運用のモデリング機能により、効率を向上

MES FAB300®

プログラミング不要で、独自のビジネスルールを実装可能

Maintenance Management

計画保全・計画外保全の両面で、装置
メンテナンスの効果を最大化

Monitor

システム障害の検知と予測を実現

SmartFactory MES for ATP

半導体後工程向けに最適されたMES

あらゆるスケールや複雑性において、予測可能なファクトリー運用を実現するMES

半導体製造ライフサイクル全体にわたり、一貫したファクトリーオペレーションを実現

ウェハー基板

インゴットおよびウェハー製造環境に最適化された、信頼性の高い本番対応MES。結晶成長からウェハ加工、上流工程まで、製造プロセス全体を一貫して管理し、高い生産性と安定した品質を実現します。

ウェハーファブ

装置、プロセス、製造フローにまたがる高度で複雑なオペレーションを支えながら、一貫性と制御性の高い高度なウェハー製造を実現します。

テスト & 組立

変動の大きいテストおよび組立環境においても一貫した実行を維持することで、製品ミックスや生産数量の変化に柔軟に対応しながら、工場パフォーマンスへの影響を最小限に抑えます。

クラシックMES（Classic MES）

実績に裏付けられたMES基盤のもと、確立された工場オペレーションを安定的に実行し、クリティカルな製造環境を大規模かつ高い信頼性で支えます。