SmartFactory Fault Detection
您是通过什么方式来减少设备的偏移问题？
SmartFactory Fault Detection是一个过程控制解决方案，可以根据性能指标侦测传感器和事件，快速检测设备问题，从而提高设备的有效利用率和减少晶圆废料损失。 与许多依赖于反应性方法的独立系统不同，SmartFactory Fault Detection能够在设备问题影响产出之前提供主动和快速的反馈。
为什么选择SmartFactory Fault Detection？
减少高达90%的设备过程误警率
减少高达95%的原材料损失
设备异常停机时间减少25小时以上
您能从我们的解决方案中获得什么？
改善晶圆厂关键绩效指标
- 通过从源头侦测设备故障来保护工厂
- 侦测以前无法检测到的问题
- 通过分析和报表监测设备性能
可采取的行动建议
- 在设备发生故障之前发出有效的预测并主动通知维护系统
- 提高了有效的预警度，减少设备停机时间
- 提供多种有效的方法减少误警率，方便系统维护
集成式的平台
- 提供通用平台，Run-to-Run系统、SPC系统、Recipe Management系统与FDC系统进行了无缝的整合，促进信息共享
- 整合过程设备和量测设备之间的数据，并且可以与其他的APC系统模块进行交互