SmartFactory Maintenance Management
优化您的维护计划
您工厂的维护计划是自动化的吗?
SmartFactory Maintenance Management是一套以设备为中心的计算机化维护管理系统(CMMS),可以有效地管理计划、排程和计划外的维护。 这套专门为半导体行业开发的解决方案优化了整体库存水平的管理,提高了设备可用性,并降低了人力和零部件成本。

为什么选择SmartFactory Maintenance Management?
深度访问半导体设备层次结构、可配置性和状态建模
提高工厂设备的可用性和效率
降低人力和零部件成本
您能从我们的解决方案中获得什么?
更好的规划
- 维保自动化,可轻松安排您的设备和技术人员
- 消除对电子表格和纸质计划表的依赖
- 通过移动端执行“机台端”维保核检清单,确保BKMs和一次成功
更高的生产效率
- 对多腔体设备,可跟踪设备状态和事件到单个腔室
- 即使在降级的状态下也能准确评估设备的可用性
- 通过减少因停机、设置和调整造成的损失,提高资产可用性
更好的集成
- 可与任何MES系统集成,特别是在同一模型中工作的FACTORYworks®系统
- 与应用材料公司的E3®和APF RTD®解决方案集成,在需要时支持在制品(WIP)的重新分配
- 与关键工厂系统集成,包括备件库存和技术人员跟踪和调度