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SmartFactory SPC3DTM
修复难以检测的过程变化
您是如何处理工厂的过程变化问题?
SmartFactory SPC3D是一个先级过程控制（APC）引擎，通过运行统计数据来确定过程是否在规格范围内，以提高产品良率。 SPC3D是在一个与其他过程控制元素共同的平台上设计的，是一个相互依赖的、智能的平台，可以解决集成数据和上下文的挑战，以更好地控制晶圆厂的过程质量。
为什么选择SmartFactory SPC3D？
通过减少人为操作失误，每年节省45万美元以上的成本
操作人的反应变化性每年减少20%
您能从我们的解决方案中获得什么？
数据集成
- 追溯统计分析和违规数据到工艺设备的原始数据
- 启用高级分析和自定义规则
- 提供人工智能（AI）/机器学习（ML）功能和Python模块支持
- 为快速分析和简单管理SPC图表提供单一UI
集成式的平台
- 提供通用平台，Run-to-Run系统、SPC系统、Recipe Management系统与FDC系统进行了无缝的整合，促进信息共享
- 使数据操作更容易
- 更少的配置依赖，提供更快的ROI
降低成本
- 提供对统计失败的根本原因分析的更快访问
- 消除设备连接和系统集成问题，降低整体拥有成本（CoO）
