常见问题解答：质量

什么是制造配方管理软件？

在制造过程中，”配方“指的是设备处理材料的指令集合。配方管理软件用于管理半导体工厂中可能存在的数千种配方。

配方管理系统能够减少错误、提升效率、增加晶圆产出并提供可追溯性。其通过将配方存储在安全的中央存储库中，提供审查配方差异、重复项及整合方式来实现这些优势。此外，系统还能生成认证和审计所需的数据。

管理数千种配方是配方管理的基本要求。现代配方管理系统必须适应用户个性化组织偏好，提供灵活的配置选项。系统还应将配方保存在具有冗余备份和版本控制的安全存储库中，通过控制设备常数和配方参数值来减少误处理，并根据配方规格验证运行时配方，以最大限度地减少返工和废品。
统计过程控制 (SPC) 工具可帮助制造商从基于检测的质量控制方法转向基于预防的方法。通过早期识别工艺或质量问题，推荐预防或纠正措施，并提供制定工艺改进策略所需的信息，从而最大限度减少工艺或质量问题。
SmartFactory SPC3D™ 实时处理参数并分析生产数据以识别工艺异常。其通过验证规格是否在限制内、识别可疑加工趋势，并在发现异常时向工作人员发出警告来实现这一功能。此外，该系统通过实时向制造人员提供关键的生产流程反馈，助力持续改进文化的培育。