减少因过程偏移造成的产量损失

SmartFactory Fault Detection是一个过程控制解决方案，可以根据性能指标侦测传感器和事件，快速检测设备问题，从而提高设备的有效利用率和减少晶圆废料损失。 与许多依赖于反应性方法的独立系统不同，SmartFactory Fault Detection能够在设备问题影响产出之前提供主动和快速的反馈。