ご存じですか？大量生産の製造工場では、さまざまなシステムや装置から発生するアラームの数が、1秒間に最大1,000件に達すのアラームやアラートを管理することはオペレーターにとって大きな負担となり、重要なアラームを見逃してしまう原因になります。これにより、ウェーハの廃棄や逸脱（エクスカーション）が発生する可能性があります。オペレーターがこのような状況に直面すると、アラームに対する感度が鈍くなり、アラームスパムに圧倒されてしまいます。その結果、アラームへの対応が遅れ、装置が問題のある状態のまま長時間放置されたり、誤処理されたウェーハが検査されずに処理され続けたりします。（図1：アラーム管理の概要をご覧ください）
1日に数百から数千件のアラームを処理することは、多くの高ボリューム製造工場にとって今なお共通の課題です。この負荷に対応するためには、リアルタイムで大量のアラームを継続的に管理・対応する必要があります。工場内のアラームを効率的に管理するソリューションを導入することで、オペレーターは即時対応が必要な重要アラームに集中でき、重要度の低いアラームをフィルタリングすることが可能になります。
SmartFactory Alarm Managementソリューション
SmartFactory Alarm Managementは、こうしたアラーム管理の課題にリアルタイムで対応するために開発されたソリューションです。図2は、アラームをルールに基づいてフィルタリングすることで、生産性が向上する様子を示しています。
主な機能
エクスカーションの防止による歩留まりの向上: アラームがフィルタリングされることで、オペレーターは重要なアラートをすばやく特定し、優先度の高い問題に迅速に対応でき、ウェハーの誤処理を防ぎます。
装置のダウンタイム削減による稼働率の向上： ターゲットを絞ったアラームへの迅速な対応により、技術者やエンジニアが適切なアクションをすばやく実行でき、装置の停止時間を最小限に抑えます。
サイクルタイム短縮によるスループットの向上： アラートノイズの削減とアラームデータの統合により、トラブルシューティングが迅速に行え、労働生産性と運用効率が向上します。
まとめ
SmartFactory Alarm Managementは、工場内のアラームを効率的に管理し、運用の最適化を実現します。このソリューションは以下を可能にします：
- リアルタイムアラーム処理を一元化
- 各種システムからのアラームを一貫した手順で管理
- アラームフィルタリング階層を適用し、最適なルールを選定
- アラームの重要度に応じた対応を実施
- 重複排除アルゴリズムによりアラートノイズを削減
- アラームデータを統合し、迅速なトラブルシューティングを実現
よくある質問
Q：なぜアラームへの迅速な対応が必要なのですか？
A：対応が遅れると、装置が問題のある状態のまま長時間放置されたり、誤処理されたウェーハが検査されずに処理され続ける可能性があります。
Q：リアルタイムアラーム管理の利点は？
- 工具の停止時間を削減
- 製品品質リスクを低減
- 工場全体のアラーム処理を迅速化
Q：SmartFactory Alarm Managementはどのようにオペレーションを最適化しますか？
A：アラームを効率的に管理することで、アラートの特定・優先順位付け・対応を迅速に行い、適切なアクションを取ることができます。
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