在您的晶圆厂里，缺陷分类有多可靠？ 您是否还在依赖手动流程来确定故障的根本原因？ 为避免代价高昂的良率偏移，应用材料公司 SmartFactory® Defect Management 缺陷管理解决方案可快速识别缺陷的来源和位置，对缺陷进行分类和分析，并为后续步骤提供明智的决策。
在 xDMS 缺陷改善管理系统的支持下，提供一套完整的缺陷跟踪、识别和分类的解决方案，从而降低良率损失、识别良率限制因素的时间和制造成本。
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