SmartFactory Run-to-Run Control

优化设备配方参数

您是如何解决工厂的过程能力问题?

SmartFactory Run-to-Run Control是一个先进过程控制（APC）解决方案，可以提高过程能力（Cpk）和优化设备配方参数。这个开箱即用的解决方案提供了专利的模型预测，经过验证部署成功，包括一个多变量、约束、基于优化的过程控制器。