よくある質問: 品質管理

Q: 製造レシピ管理ソフトウェアとは何ですか?

A: 製造における「レシピ」とは、特定の装置がどのように材料を処理するかについての指示の集合を指します。レシピ管理ソフトウェアは、半導体工場内に存在する可能性のある何千ものレシピを管理するためのツールです。
A: レシピ管理システムは、エラーの削減、効率の向上、ウェーハの生産量の増加、トレーサビリティの確保に貢献します。これを実現するために、レシピを安全な中央リポジトリに保存し、レシピの差異、重複、統合を確認できる手段を提供します。また、認証や監査対応に必要なデータも生成します。
A: 何千ものレシピを管理することは、レシピ管理の基本的な要件です。現在のレシピ管理システムは、ユーザーごとの組織構成に対応し、柔軟な設定オプションを提供する必要があります。また、レシピを冗長性とバージョン管理を備えた安全なリポジトリに保管し、装置の定数やレシピパラメータ値を制御することで誤処理を減らし、実行時のレシピが仕様に合致しているかを検証することで、手戻りや廃棄を最小限に抑える必要があります。
A: 統計的工程管理(SPC)ツールは、製造業者が「検出型」の品質管理から「予防型」へと移行するのを支援します。これにより、工程や品質に関する問題を早期に特定し、問題の予防や是正のための対策を提案し、工程改善戦略の策定に必要な情報を提供することができます。
A: SmartFactory SPC3Dは、パラメータをリアルタイムで処理し、生産データを分析して工程の不適合を特定します。仕様が許容範囲内にあるかを検証し、疑わしい処理傾向を特定し、不適合が検出された際にはスタッフに警告を出します。さらに、SmartFactory SPC3Dは、製造スタッフにリアルタイムで重要なフィードバックを提供することで、継続的改善の文化を促進します。