装置とプロセスのパフォーマンスを最適化することで、歩留まりを向上
データ組み合わせ仕組みでよる効率的に 分析施行して監視自動化機能を提供
歩留まり損失を最小限に抑え、予定外の装置ダウンタイムを減少
レシピ管理システムを通じて製品処理製造の 品質一貫性を確保
生産性を向上させ、人為的なエラーを減少させ、業界スタンダードの自動処理仕組みを実現
