工場全体に分散する何千ものレシピを、どのように管理していますか？
製造装置のレシピは、企業にとって最も重要な知的財産のひとつです。SmartFactory Recipe Management System（RMS）は、レシピの差分、重複、統合を簡単に確認できる機能を提供し、安全に一元管理されたリポジトリによってレシピの知的財産を保護します。このソリューションは、実行時のレシピとパラメータを検証することで、ラインの歩留まりとトレーサビリティを向上させます。
SmartFactory Recipe Managementを選ぶ理由
人為的ミスによる廃棄を最大50%削減
成熟ファブにおけるライン歩留まりを4〜10%向上
私たちの取り組みから得られる効果
レシピ・リポジトリの一元管理
- 冗長性とバージョン管理を備えた安全なリポジトリでレシピを管理
- ツールレシピの誤削除を防ぎ、ビジネス継続性を確保
- 認証や監査に備えたレシピ履歴のトレーサビリティを提供
レシピ効率の自動化
- 装置の定数やレシピパラメータ値を制御し、誤処理を削減
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装置の自動化と連携して実行時の検証を自動化し、
ウェーハ出力を向上
人為的ミスの削減
- 実行時レシピを仕様と照合して検証し、手戻りや廃棄を最小化
- 誤った手順やパラメータの更新によるエラーを削減