マニュアルオペレーションから自動化処理仕組みに切り替えることを検討していますか？
SmartFactory Equipment Automationは、自動化サービスを実行する装置設計および制御フレームワークです。このソリューションは、装置処理の自動化、上位管理システム（MES）との統合および装置データの処理をSEMI標準やカスタマイズで対応より、生産性が向上し、エラーやスクラップの損失が削減されます。
SmartFactory Equipment Automationを選ぶ理由
自動ディスパッチにより、1日あたりのウェーハ出力が10〜15%向上
自動ディスパッチにより、装置の稼働率が10%向上
データ記録時間を97%削減
私たちの取り組みから得られる効果
資産の最適化
- 装置処理自動化シナリオを実行することで、装置資産の稼働を維持
- SmartFactory FullAuto と連携し、マテリアルズの搬送、ロード、処理、アンロードを自動化実現
エラーの削減
- 品質管理の事前チェックにより、正しい材料が適切なシーケンスやレシピと一致していることを検証
- 品質およびエンジニアリングデータの要件を一貫して満たす
データの統合
- データ収集記録を適切なアプリケーションに配信し、分析を支援
- 装置のパフォーマンスを分析し、隠れたサイクルタイム損失を特定
- Applied の SmartFactory CIM ソリューションや他社製ソリューションとの統合が可能