SmartFactoryプロセス品質ソリューション

プロセスシステムの統合より、
優れたプロセス品質と
一貫性を確保

Run-to-Run Control

装置とプロセスのパフォーマンスを最適化すること
で、歩留まりを向上

SPC®

データ組み合わせ仕組みでよる効率的に
分析施行して監視自動化機能を提供

Fault Detection

歩留まり損失を最小限に抑え、予定外の装置ダウンタイムを減少

Recipe Management System

レシピ管理システムを通じて製品処理製造の
品質一貫性を確保

SmartFactory Asset Trace

生産設備や治具工具のライフサイクル全体を通じてトレースし、活用率を向上

Equipment Automation

生産性を向上させ、人為的なエラーを減少させ、
業界スタンダードの自動処理仕組みを実現

Maintenance Management

計画保全・計画外保全の両面で、装置
メンテナンスの効果を最大化